纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心
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多功能磁控溅射装置 阻抗分析仪

  
多功能磁控溅射装置 VSM设备

    
多功能磁控溅射装置 原子力显微镜

    
多功能磁控溅射装置 Dektak XT探针式轮廓仪


  台阶高度重复性5埃,1σ* 1um台阶上;

  扫描长度:50µm 至 55mm,可达120,000个数据点/扫描

  垂直测量范围:可达1毫米

  彩色CCD摄像头、应力测试软件

  30种分析功能,另加波纹过滤功能

  手动样品台,4英寸,XY行程100mm*100mm

  探针加力范围:1毫克至15毫克,探针快速更换附件(标配)

多功能磁控溅射装置 多功能磁控溅射装置

  用于制备各种金属、金属氧化物及类金刚石薄膜,主要用于薄膜太阳能电池的薄膜层制备。
扫描电子显微镜 扫描电子显微镜

  用于测试材料的形貌和结构。附带能谱仪进行微区成分分析。
薄膜测厚仪 薄膜测厚仪


  用于测试薄膜的厚度。
等离子增强化学气相沉积 等离子增强化学气相沉积

  用于制备各种金属、金属氧化物及类金刚石薄膜和定向碳纳米管的生长。
低压热化学气相沉积 低压热化学气相沉积

  用于碳基复合材料的制备,包括碳纳米管、碳纳米管和碳纤维复合膜及其他热处理用途。
荧光光谱仪 荧光光谱仪

  用于测量材料的发光特性和量子效率。
紫外可见分光光度计 紫外可见分光光度计

  用于测量材料的反射和透射谱。
电化学工作站 电化学工作站

  用于测量CV,阻抗谱及进行电解和电镀的实验。
积分球 积分球

  用于测量光源的发光效率。
太阳能电池测试系统 太阳能电池测试系统

  用于测量太阳能电池的I-V和IPCE。
导热测试仪 导热测试仪

  用于测量材料的热导。
接触角测量仪 接触角测量仪

  用于测量材料的表面张力和浸润性。
锂离子电池测试仪 锂离子电池测试仪

  用于测量锂离子电池的性能。
TOC测试仪 TOC测试仪

  用于测量溶液中的总碳含量。
粒度测试仪 粒度测试仪

  用于测量材料的颗粒大小。
四探针测试仪 四探针测试仪

  用于测量薄膜的方块电阻。
高真空场发射测试系统 高真空场发射测试系统

  用于场发射显示模块的I-V特性测试
LED分选测试系统 LED分选测试系统

  可根据需要分选出不同设定参数的(驱动电压、电流以及光强等)LED颗粒。
FED封装炉 FED封装炉        

  用于场发射显示单元模块的真空封装。