Dektak XT探针式轮廓仪
台阶高度重复性5埃,1σ* 1um台阶上;
扫描长度:50µm 至 55mm,可达120,000个数据点/扫描
垂直测量范围:可达1毫米
彩色CCD摄像头、应力测试软件
30种分析功能,另加波纹过滤功能
手动样品台,4英寸,XY行程100mm*100mm
探针加力范围:1毫克至15毫克,探针快速更换附件(标配)
多功能磁控溅射装置
用于制备各种金属、金属氧化物及类金刚石薄膜,主要用于薄膜太阳能电池的薄膜层制备。
薄膜测厚仪
用于测试薄膜的厚度。
等离子增强化学气相沉积
用于制备各种金属、金属氧化物及类金刚石薄膜和定向碳纳米管的生长。
荧光光谱仪
用于测量材料的发光特性和量子效率。
紫外可见分光光度计
用于测量材料的反射和透射谱。
电化学工作站
用于测量CV,阻抗谱及进行电解和电镀的实验。
积分球
用于测量光源的发光效率。
太阳能电池测试系统
用于测量太阳能电池的I-V和IPCE。
导热测试仪
用于测量材料的热导。
锂离子电池测试仪
用于测量锂离子电池的性能。
TOC测试仪
用于测量溶液中的总碳含量。
粒度测试仪
用于测量材料的颗粒大小。
四探针测试仪
用于测量薄膜的方块电阻。
高真空场发射测试系统
用于场发射显示模块的I-V特性测试